クリーンルーム

A クリーンルーム または クリーンルーム は、浮遊する粒子の濃度を非常に低く保つように設計された空間です。隔離性が高く、汚染から高度に制御されており、積極的に清浄化されています。このような部屋は、科学研究や、半導体デバイス製造など、すべてのナノスケールプロセスにおける工業生産で一般的に必要とされます。クリーンルームは、埃から浮遊生物、気化粒子に至るまで、あらゆるものを内部から、そして内部で扱われているものから遠ざけるように設計されています。

クリーンルームは、物質の漏洩を防ぐこともできます。これは、危険な生物学、核関連作業、製薬、およびウイルス学において、しばしば主な目的となります。

クリーンルームは通常、所定の分子サイズにおける立方メートルあたりの粒子数によって定量化された清浄度レベルを備えています。
一般的な都市部の周囲の屋外空気には、0.5 μm以上のサイズの粒子が立方メートルあたり35,000,000個含まれており、これはISO 9認証のクリーンルームに相当します。これに対し、ISO 14644-1レベル1認証のクリーンルームでは、そのサイズ範囲の粒子は許容されず、0.3 μm以下の粒子は立方メートルあたりわずか12個です。半導体施設ではレベル7または5で済むことが多く、レベル1の施設は非常にまれです。