クリーンルーム

A についてクリーンルームあるいは清潔な部屋空気中に流れる非常に低い濃度を維持する設計された空間です微粒子隔離され 制御されていて汚染このような部屋は,通常,科学研究やすべてのナノスケールプロセスのための工業生産のために必要になります.半導体装置の製造クリーンルームは,塵から空気中の生物や蒸発した粒子,そして,その中に扱われているあらゆる物質から,すべてを遠ざけるように設計されています.

クリーンルームは,物質の逃れを防ぐこともできます.生物学,核作業,薬剤そしてウイルス学.

クリーンルームは,通常,既定の分子測定値で,立方メートルあたりの粒子の数によって定量化される 清潔度のレベルを持っています.
典型的な都市圏の空気は 35000ISO 9認証のクリーンルームに相当する. 比較すると,ISO 14644半導体設備は,通常レベル7または5でうまくいきます. 半導体設備は,レベル7または5で,レベル1の施設は極めて稀です.